一个集合中，任何两个元素都认为是不相同的，即每个元素只能出现一次。
子集是一个数学概念：如果集合A的任意一个元素都是集合B的元素，那么集合A称为集合B的子集。
现在有这么一个问题，一个整数的子集的子集一共有多少个。
比如说{1,2}这个集合，他的子集有 {空}，{1}, {2}, {1,2}这4个子集。
这4个子集的子集分别是
{空}
{空}，{1}
{空}，{2}
{空}，{1}, {2}, {1,2}
所以{1,2}这个集合的子集的子集个数有9个。
输入只有一个数n，代表这个集合里面元素的个数是n个（1<=n<1e9）。
输出包含一个数，表示输入的集合子集的子集个数。结果可能很大，结果需要对1e9+7进行取余后再输出。